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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司資料大?。?/p>
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近,有飛納電鏡用戶詢問關(guān)于電子束分析樣品時可以穿透樣品的深度的問題,這里小編將為大家詳細(xì)介紹一下。
掃描電鏡是利用聚焦電子束進行微區(qū)樣品表面形貌和成分分析,電子從發(fā)射源(燈絲)經(jīng)光路系統(tǒng)終到達樣品表面,電子束直徑可到 10 nm 以下,場發(fā)射電鏡的聚集電子束直徑會更小。
聚焦電子束到達樣品表面會激發(fā)出多種物理信號,包括二次電子(SE),背散射電子(BSE),俄歇電子(AE)、特征X 射線(X-ray)、透射電子(TE)等。
· 二次電子 信號主要來自樣品表面,其深度范圍 10 nm ,成像具有較高分辨率,能夠很好的反映樣品形貌特征。
· 背散射電子 是入射電子被樣品原子核反彈回來的部分電子,電子能量較高,信號深度范圍可到 2 μm。
· X 射線 可以從樣品較深的位置出射,其深度范圍可到 5 μm。
圖1 不同樣品信號深度
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